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发明名称 In wässeriger Base entwickelbare negative Schutzschichtzusammensetzungen.
摘要
申请公布号 DE69010817(T2) 申请公布日期 1995.03.16
申请号 DE19906010817T 申请日期 1990.08.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 ITO, HIROSHI, SAN JOSE, CA 95120, US
分类号 G03F7/029;C08L61/04;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/029
代理机构 代理人
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