| 发明名称 |
Device for coating or etching of substrates. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0607787(A3) |
申请公布日期 |
1995.03.15 |
| 申请号 |
EP19940100038 |
申请日期 |
1994.01.04 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
ARNOLD MANFRED;BLANG GUIDO;GEGENWART RAINER;RITTER JOCHEN;STOLL HELMUT |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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