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经营范围
发明名称
Sputtering apparatus.
摘要
申请公布号
EP0449227(B1)
申请公布日期
1995.03.15
申请号
EP19910104804
申请日期
1991.03.26
申请人
SONY CORPORATION
发明人
IKEDA, JIRO
分类号
C23C14/56;G11B7/26;(IPC1-7):C23C14/56;C23C14/50;C23C14/34
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
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