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发明名称
An exposure apparatus.
摘要
申请公布号
EP0357423(B1)
申请公布日期
1995.03.15
申请号
EP19890308821
申请日期
1989.08.31
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
MORI, TETSUZO;SAKAMOTO, EIJI;HARA, SHINICHI;UDA, KOJI;SHIMODA, ISAMU;UZAWA, SHINICHI;OZAWA, KUNITAKA
分类号
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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