发明名称 An exposure apparatus.
摘要
申请公布号 EP0357423(B1) 申请公布日期 1995.03.15
申请号 EP19890308821 申请日期 1989.08.31
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MORI, TETSUZO;SAKAMOTO, EIJI;HARA, SHINICHI;UDA, KOJI;SHIMODA, ISAMU;UZAWA, SHINICHI;OZAWA, KUNITAKA
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址