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发明名称 METHOD, DRY MULTI-STAGE PUMP AND PLASMA SCRUBBER FOR CONVERTING REACTIVE GASES.
摘要
申请公布号 EP0642378(A1) 申请公布日期 1995.03.15
申请号 EP19930904389 申请日期 1993.01.18
申请人 LEYBOLD B.V. 发明人 VISSER, JAN
分类号 B01D53/34;B01D53/32;B01J19/08;(IPC1-7):B01D53/32;F04C29/10 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
主权项
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