Pressure vacuum vessel and method of manufacture.,申请号EP19910105628-传众专利搜索

发明名称	Pressure vacuum vessel and method of manufacture.
摘要
申请公布号	EP0452778(B1)	申请公布日期	1995.03.15
申请号	EP19910105628	申请日期	1991.04.09
申请人	APPLIED MATERIALS INC.	发明人	TEPMAN, AVI
分类号	B01J3/00;B23K9/00;B01J3/04;B23K15/06;C23C14/56;F16J12/00;H01L21/205;H01L21/3065;(IPC1-7):F16J12/00	主分类号	B01J3/00
代理机构		代理人
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