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发明名称
Method for forming fine patterns of conjugated polymers.
摘要
申请公布号
EP0261991(B1)
申请公布日期
1995.03.15
申请号
EP19870308574
申请日期
1987.09.28
申请人
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
发明人
TAGUCHI, SATOSHI;TANAKA, TOSHIHIKO
分类号
G03F7/36;G03C1/72;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039
主分类号
G03F7/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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