| 发明名称 |
FORMATION OF CONDUCTIVE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0770740(A) |
申请公布日期 |
1995.03.14 |
| 申请号 |
JP19930216792 |
申请日期 |
1993.09.01 |
| 申请人 |
HITACHI ZOSEN CORP |
发明人 |
INOUE TETSUYA;KITAGAWA SHIYOUICHI;SUZUKI MOTOMITSU |
| 分类号 |
C23C14/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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