| 发明名称 |
SHAPE MEASURING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0768451(A) |
申请公布日期 |
1995.03.14 |
| 申请号 |
JP19940149839 |
申请日期 |
1994.06.30 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
OKAZAWA YASUO;SATO KENZO;TANAKA HIDEKI |
| 分类号 |
B23Q17/20;G01B21/20;(IPC1-7):B23Q17/20 |
主分类号 |
B23Q17/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
