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发明名称 EVAPORATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0770741(A) 申请公布日期 1995.03.14
申请号 JP19940029514 申请日期 1994.02.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO HIROMOTO
分类号 C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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