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发明名称 BUBBLE PRODUCER
摘要
申请公布号 JPH0770766(A) 申请公布日期 1995.03.14
申请号 JP19930218563 申请日期 1993.09.02
申请人 KYOCERA CORP 发明人 MAEDA TSUTOMU
分类号 B22F5/00;B05B1/02;B22F3/11;B22F5/12;C23F1/08;C23G5/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 B22F5/00
代理机构 代理人
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