FORMATION OF THIN FILM,申请号JP19930220818-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH0770751(A)	申请公布日期	1995.03.14
申请号	JP19930220818	申请日期	1993.09.06
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD	发明人	KODERA KOICHI;MUKAI YUJI;YASUI HIDEAKI;KONISHI YASUFUMI;SHIOKAWA AKIRA;TANAKA HIROYOSHI
分类号	C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
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