| 发明名称 |
ARM MECHANISM OF SUBSTRATE CONVEYOR SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0769445(A) |
申请公布日期 |
1995.03.14 |
| 申请号 |
JP19930243511 |
申请日期 |
1993.09.06 |
| 申请人 |
MICRO GIJUTSU KENKYUSHO:KK;KONDO SEIMITSU:KK |
发明人 |
YOSHIKAWA MINORU;KINDO YOSHIAKI |
| 分类号 |
B25J18/02;B65G49/06;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G49/06 |
主分类号 |
B25J18/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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