| 主权项 |
1.一监控器用以监控一半导体晶片上所涂布的光 阻上复数 个定点处的厚度溶解速率,该监控器包含:(a)一雷 射光 源用以产生一雷射光,(b)复数条光纤束,每一条光 纤束 包含至少一条由塑胶制成的第一光纤,用以将该雷 射光的 一部分导引至光阻上其中一定点,以及至少一条由 塑胶制 成的第二光纤,用以将由该第一光纤射出而自光阻 定点反 射的雷射光接收并传递;(c)复数个光侦测装置,每 个光 侦测装置耦合至各条光纤束中的第二光纤,用以侦 测由第 二光纤所递送的反射光的强度,并产生一对应之强 度信号 ;(d)微处理装置,用以处理该强度信号而藉以求得 光阻 的溶解速率。2.如申请专利范围第1项所述之监控 器,其中各条光纤束 包含一条第一光纤以及多条环绕第一光纤周围排 列的第二 光纤。3.如申请专利范围第1项所述之监控器,其中 环绕第一光 纤周围排列的第二光纤以六条为最佳者。第1图为 一示意 图,显示一根据本创作而具体实施的光阻溶解速率 监控器 ;第2图为显示光阻溶解速率监控器监控一晶片上 三定点 之光阻溶解速率的组装方式;第3A-3C图为应用在本 创作 之光阻溶解速率监控器中之光纤束的横切面图;第 4图本 |
