发明名称 VARIABLE PHOTOMASK
摘要
申请公布号 JPH0764130(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930210220 申请日期 1993.08.25
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 KITA TAKASHI;NISHINO TANEO;KATSUKI KAZUO
分类号 G02B26/08;G02F1/13;G02F1/35;(IPC1-7):G02F1/35 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
主权项
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