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发明名称 FILM DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0766131(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930209753 申请日期 1993.08.24
申请人 CANON SALES CO INC;ALCAN TEC KK;HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK 发明人 MAEDA KAZUO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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