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发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0766140(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930215396 申请日期 1993.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KUZUHARA TORU
分类号 H01L21/20;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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