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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0766212(A)
申请公布日期
1995.03.10
申请号
JP19930212700
申请日期
1993.08.27
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
SHIBATA HIDEKI
分类号
H01L21/285;H01L21/304;H01L21/316;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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