发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0766202(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
申请号 |
JP19930212663 |
申请日期 |
1993.08.27 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NISHIMURA HIROSHI;YAMANAKA MICHINARI;SHINOHARA SHOHEI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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