DEPOSITION OF THIN FILM,申请号JP19930216242-传众专利搜索

发明名称	DEPOSITION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH0766141(A)	申请公布日期	1995.03.10
申请号	JP19930216242	申请日期	1993.08.31
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	MIYAJIMA HIDESHI;HAYASAKA NOBUO;OKANO HARUO;TANIGUCHI YASUYUKI;NIIMURA TADASHI
分类号	C22B11/00;C23C16/06;H01L21/205;H01L21/314;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/320	主分类号	C22B11/00
代理机构		代理人
主权项
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