发明名称 |
ION BEAM PROCESSING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0765772(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
申请号 |
JP19930211351 |
申请日期 |
1993.08.26 |
申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
IWASAKI KATSUHIKO;TAKAHASHI KOJI;HOSU MASATERU;HOSODA OSAMU |
分类号 |
H01J37/22;H01J37/30;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/22;H01L21/306 |
主分类号 |
H01J37/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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