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发明名称 ION DOPING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0765781(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930228200 申请日期 1993.08.20
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 AGAWA YOSHIAKI;TSUGUEDA TAKAYUKI;FUKUI RYOTA
分类号 C30B31/20;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C30B31/20
代理机构 代理人
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