| 发明名称 |
ELECTRON CYCLOTRON RESONANCE DOPANT CELL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0765763(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930228199 |
申请日期 |
1993.08.20 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
HIGUCHI KATSUSHI;HOSHINO AKIRA;UCHIYAMA TOYOJI;TAKAGI KENICHI |
| 分类号 |
H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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