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发明名称
FOCUSING POSITION DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0765771(A)
申请公布日期
1995.03.10
申请号
JP19930209798
申请日期
1993.08.25
申请人
NIKON CORP
发明人
SATO YUTAKA;OTANI BUNICHI
分类号
H01J37/141;H01J37/21;H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/21
主分类号
H01J37/141
代理机构
代理人
主权项
地址
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