发明名称 FOCUSING POSITION DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0765771(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930209798 申请日期 1993.08.25
申请人 NIKON CORP 发明人 SATO YUTAKA;OTANI BUNICHI
分类号 H01J37/141;H01J37/21;H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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