发明名称 THERMOCOMPRESSION BONDING DEVICE FOR ELECTRONIC PART
摘要
申请公布号 JPH0766248(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930213652 申请日期 1993.08.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONIZUKA YASUTO
分类号 H01L21/603;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/603
代理机构 代理人
主权项
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