| 发明名称 |
THIN FILM FORMING METHOD AND ION IMPLANTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0765761(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930213789 |
申请日期 |
1993.08.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAKE KIYOSHI;TAKAHASHI HIROMASA;OHASHI TAKEYA;FUJII KAZUMI |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J27/18;H01J37/05;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/05 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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