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经营范围
发明名称
SPIN SCRUBBER
摘要
申请公布号
JPH0766163(A)
申请公布日期
1995.03.10
申请号
JP19930215391
申请日期
1993.08.31
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
HIZUME KOJI
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
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