| 发明名称 |
INSULATED-GATE FIELD-EFFECT SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0766413(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930163240 |
申请日期 |
1993.06.07 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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