| 发明名称 |
AIR KNIFE AND PROCESSOR USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0766100(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930161570 |
申请日期 |
1993.06.30 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
SATO HITOSHI;HIROSE HARUMICHI |
| 分类号 |
B08B5/02;F26B21/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B08B5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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