发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0766278(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930210585 申请日期 1993.08.25
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUROKI HIROSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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