发明名称 PLASMA CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0766138(A) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 JP19930214009 申请日期 1993.08.30
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 KOJO DAIICHI;MURATA MASAYOSHI;UDA KAZUTAKA;TAKEUCHI YOSHIAKI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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