| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD AND DEVICE FOR POLYCRYSTALLINE THIN FILM AND MANUFACTURE OF OXIDE SUPERCONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0765642(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930210777 |
申请日期 |
1993.08.25 |
| 申请人 |
FUJIKURA LTD |
发明人 |
IIJIMA YASUHIRO;TANABE NOBUO |
| 分类号 |
C30B29/22;C23C14/48;H01B12/06;H01B13/00;(IPC1-7):H01B12/06 |
主分类号 |
C30B29/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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