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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Handhabung und Behandlung von scheibenartigen Materialien.
摘要
申请公布号 DE3750734(T2) 申请公布日期 1995.03.09
申请号 DE19873750734T 申请日期 1987.04.03
申请人 MATERIALS RESEARCH CORP., ORANGEBURG, N.Y., US 发明人 EROR, MIROSLAV, OLD TAPPAN NEW JERSEY 07675, US;BIEHL, RICHARD E., PEARL RIVER NEW YORK 10966, US
分类号 B65H3/08;B65G1/00;B65G1/07;B65G47/90;B65G49/07;B65H1/28;B65H5/12;B65H5/18;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65H3/08
代理机构 代理人
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