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发明名称
摘要
申请公布号 JPH07502295(A) 申请公布日期 1995.03.09
申请号 JP19930511142 申请日期 1992.12.15
申请人 发明人
分类号 C08G8/00;C08G8/08;C08G8/10;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):C08G8/10 主分类号 C08G8/00
代理机构 代理人
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