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发明名称 Anordnung zum Abführen statischer Elektrizität von aufgeladenen Gegenständen in Reinräumen.
摘要
申请公布号 DE68916936(T2) 申请公布日期 1995.03.09
申请号 DE19896016936T 申请日期 1989.10.13
申请人 TAKASAGO THERMAL ENGINEERING CO., LTD., TOKYO, JP 发明人 SAKATA, SOICHIRO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YOSHIDA, TAKANORI, ZAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OKADA, TAKAO, MACHIDA-SHI TOKYO, JP
分类号 H01T23/00;H05F3/04;(IPC1-7):H05F3/04 主分类号 H01T23/00
代理机构 代理人
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