| 发明名称 |
Stand-off control apparatus for plasma processing machines |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2281640(A) |
申请公布日期 |
1995.03.08 |
| 申请号 |
GB19940020119 |
申请日期 |
1993.04.06 |
| 申请人 |
* KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO |
发明人 |
YOZO * NISHI;IWAO * KUROKAWA;YOSHIHIKO * HASHIZUME |
| 分类号 |
B23K9/095;B23K9/28;B23K10/00;(IPC1-7):B23K10/00 |
主分类号 |
B23K9/095 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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