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发明名称 Clean room.
摘要
申请公布号 EP0480407(B1) 申请公布日期 1995.03.08
申请号 EP19910117229 申请日期 1991.10.09
申请人 ASAHI KOGYOSHA CO., LTD. 发明人 HONDA, SHIGEO, C/O ASAHI KOGYOSHA CO., LTD.;ABE, HIROAKI, C/O ASAHI KOGYOSHA CO., LTD.;ISONO, KAZUTOMO, C/O ASAHI KOGYOSHA CO., LTD.
分类号 F24F3/16;F24F7/06;(IPC1-7):F24F3/16;B01L1/04 主分类号 F24F3/16
代理机构 代理人
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