首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Apparatus for controlling relation in position between a photomask and a wafer.
摘要
申请公布号 EP0309281(B1) 申请公布日期 1995.03.08
申请号 EP19880308878 申请日期 1988.09.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 SATO, TAKEO;AOKI, SHINICHIRO;YAMAGUCHI, KATSUMASA;KANEKO, TADASHI;NOMURA, NOBORU;KOGA, KEISUKE;YAMASHITA, KAZUHIRO
分类号 G03F9/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com