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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0758321(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930205016 申请日期 1993.08.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SAKAI HIROYUKI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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