| 发明名称 |
CLEANING APPARATUS FOR HOLDING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0758074(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19930228136 |
申请日期 |
1993.08.20 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK |
发明人 |
YAMAGUCHI KAZUYA |
| 分类号 |
H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
