| 发明名称 |
MANUFACTURE OF METAL SILICIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0758063(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19930228254 |
申请日期 |
1993.08.20 |
| 申请人 |
TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC |
发明人 |
ITO TADASHI;AZUMA HIROZUMI;NODA MASAHARU |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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