| 发明名称 |
SAMPLE STAND FOR ECR-CVD APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0758028(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19930202254 |
申请日期 |
1993.08.16 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
MORIOKA YOSHITAKA;KOBAYASHI SHIGEKI |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/44;C23C16/458;C23C16/511;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
