| 发明名称 |
MICRO FLOW SENSOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0758346(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19930206562 |
申请日期 |
1993.08.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HASHIMOTO KAZUHIKO;KOBAYASHI SUSUMU;YOSHIIKE NOBUYUKI |
| 分类号 |
G01F1/68;B81B3/00;B81C1/00;G01P5/12;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 |
主分类号 |
G01F1/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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