发明名称 LOAD LOCK TYPE VERTICAL DIFFUSION CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0758047(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930199723 申请日期 1993.08.11
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 HIRANO MITSUHIRO
分类号 C23C14/50;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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