发明名称 MANUFACTURE FOR FERROELECTRIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0757535(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930215088 申请日期 1993.08.06
申请人 TDK CORP 发明人 SHIRAKAWA YUKIHIKO
分类号 C30B1/04;C30B23/08;C30B29/32;H01B3/00;H01B19/00;(IPC1-7):H01B3/00 主分类号 C30B1/04
代理机构 代理人
主权项
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