| 发明名称 |
AUTOMATIC MAINTENANCE SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR PRODUCTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0757982(A) |
申请公布日期 |
1995.03.03 |
| 申请号 |
JP19930197342 |
申请日期 |
1993.08.09 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA MICRO ELECTRON KK |
发明人 |
HAYASHI TOSHIYUKI;INOUE GIICHI;YOSHINAKA HITOSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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