发明名称 OHMIC ELECTRODE, FORMATION THEREOF AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0758059(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930237122 申请日期 1993.08.11
申请人 SONY CORP 发明人 MURAKAMI MASANORI;OKU TAKEO;OTSUKI AKIRA
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L29/45;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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