发明名称 UNIVERSAL BURN-IN BOARD FOR TEST OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0758172(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930199849 申请日期 1993.08.12
申请人 NEC CORP 发明人 KATO NORIAKI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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