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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0758022(A)
申请公布日期
1995.03.03
申请号
JP19930198629
申请日期
1993.08.10
申请人
RICOH CO LTD
发明人
KATSURAGAWA TADAO
分类号
C23C14/22;C23C14/28;C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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