发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0758022(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930198629 申请日期 1993.08.10
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KATSURAGAWA TADAO
分类号 C23C14/22;C23C14/28;C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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