发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0758124(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930201711 申请日期 1993.08.13
申请人 SONY CORP 发明人 GOMI TAKAYUKI;MIWA HIROYUKI;YASUSHIGE HIROAKI;KANEMATSU SHIGERU
分类号 H01L21/22;H01L21/225;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
地址